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适用于半导体检测的AVT相机

发布时间:2025-06-13 | 信息来源:上海砚拓自动化科技有限公司 | 点击量:83

科技不断进步,半导体检测系统相关的要求也随之水涨船高。深入纳米级的日益小型化结构以及对更高产量和质量的需求,进而导致我们在分辨率、帧率和新检测方法方面衍生了更多的要求。

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适用于半导体检测的相机

创新晶圆检测系统能够在整个制造流程检测裸片晶圆、外延晶圆、图案晶圆和切割晶圆的表面、材料和工艺缺陷。

选择半导体检测相机时,需要考虑以下相关因素:

高空间分辨率成像,确保可检测出极其细微的缺陷,确保晶圆层超高准确度水平对齐

支持不同类型传感器(分辨率和像素大小方面)、传感器冷却选项以及相机接口,打造灵活、可扩展的解决方案

高帧率运行的高水平传感器,提高生产吞吐量

主动冷却传感器(TEC),确保可重现的成像结果 

即插即用体验,通过多功能SDK和驱动程序搭建图像处理系统

这类系统采用自动光学检测 (AOI)方法,包括对MEMS、高级封装、RDL、凸块等进行高准确性和可重复性2D和3D测量,确保并维持一定的产量。

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半导体晶圆制造流程通常需要500多个步骤。因此,越早检测到流程存在的缺陷,越能减少后续步骤浪费的人工和资金成本。


短波红外在半导体检测领域大放异彩

搭载InGaAs传感器的短波红外相机通常在900 nm至1,700 nm的短波红外光谱范围内运行,并可透过半导体材料(例如硅(Si))实现大约1,150 nm波长的光谱成像。因此,短波红外相机成为了检验过程必不可少的设备。硅片透光成像是一种非破坏性检测方法,为生产流程提供了诸多益处。现如今,半导体行业纷纷将短波红外相机引入测试、检验和质量控制系统。

Allied Vision 提供市面上品类超齐全的短波红外相机产品线。从配有热电冷却(TEC)功能的高端解决方案,到用于开发 SWaP+C OEM 系统的无TEC裸板相机模块,一应俱全。

3种分辨率(QVGA、VGA或SXGA)和5种接口(GigE、5GigE、USB3、CSI-2或Camera Link)供选,方便您根据自身需求设计半导体检测系统。

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SWIR相机产品线
Allied Vision 种类丰富的短波红外型号(Goldeye和Alvium SWIR),可根据客户需求定制各种解决方案,融合不同附加功能或特殊部件。


作为AVT相机的代理商,我们不仅为您提供优质的产品,更致力于为您打造完善的服务体系。我们拥有专业的技术团队,能够根据您的实际生产需求,提供个性化的视觉检测解决方案,从相机选型、系统集成到安装调试、人员培训,全程为您保驾护航。同时,我们建立了快速响应的售后服务机制,确保在设备出现问题时,第一时间为您解决,最大限度减少对生产的影响。

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